Modulare Dünnschichtsysteme: CVD- und ALD-Technologien für Hochleistungs-Barrierebeschichtungen

CVD-, PE-CVD- und ALD-Beschichtungssysteme zur Herstellung hochwertiger Barrierebeschichtungen. Der Reaktor ist in drei Standardgrößen ( CX-30 , CX-300 und CX-600 ) erhältlich und kann je nach Produktivitätsbedarf auf mittlere oder größere Größen angepasst werden. Die Systeme sind vollautomatisch und erfassen alle Prozessparameter. 

• CVD-Maschinen können alle Parylen-Typen verarbeiten (N, C, F, AF4)
• PE-CVD ermöglicht die Herstellung defektfreier Keramikfilme bei niedrigen Temperaturen
• ALD in Kombination mit CVD erzeugt erstklassige Barrierebeschichtungen mit extrem niedriger Permeationsrate

Zusammen mit der Maschine bieten wir Schulungs-, Wartungs- und Servicepläne für einen stabilen und zuverlässigen Betrieb der Ausrüstung an.

Alle Rohstoffe (Parylendimere und keramische chemische Vorläufer) können von COAT-X erworben werden.